仪器名称：微波等离子体化学气相沉积金刚石设备

仪器简介：

微波等离子体化学气相沉积金刚石设备是研究院超硬材料实验室自行研制的煤层气生产金刚石的核心装置，目前已发展至第四代。设备一般由微波源、真空反应腔、真空系统及反应气体系统四部分组成。微波源激发的微波由矩形波导管传输，再经模式转换器进行模式转换后耦合进入装置谐振腔，在基片上方聚焦形成一个强电场区域。在负压条件下，反应气体（如H₂，CH₄等）会被该强电场电离激发并约束等离子体，实现全品类大面积多晶及克拉级单晶金刚石原材料的沉积。