仪器名称：场发射扫描电子显微镜
仪器型号：ZEISS Gemini SEM 300
仪器简介：
适用于各种样品（金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子和复合材料等）的微观形貌观察、微结构测定和微区成分分析。对于不导电样品，特别是氧化物纳米材料和半导体样品，可直接在超低电压下进行高分辨率观察）。
主要技术参数：
基本规格 |
蔡司 GeminiSEM 300 |
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热场发射电子枪，稳定性优于0.2 %/h |
加速电压 |
0.02 - 30 kV |
探针电流 |
3 pA - 20 nA |
（100 nA配置可选） |
存储分率 |
最高达32k × 24k 像素 |
放大倍率 |
12 – 2,000,000 |
标配探 测器 |
镜筒内Inlens二次电子探测器 |
样品室内的Everhart Thornley二次电子探测器 |
试运行期间收费标准：
