仪器名称：双辉等离子渗金属炉

仪器简介：

双层辉光离子渗金属炉在一个真空容器内设置阳极、阴极、以及由欲渗合金元素成的源极，阳极和阴极以及阳极和源极之间各设一直流可调压电源。当真空室的真空达到一定气压时，接通两个电源，使阳极和阴极以及阳极和源极之间分别产生辉光放电,利用辉光放电产生的低温Ar⁺轰击源极，使得源极中的合金元素被溅射出来，通过空间运输，在工件表面吸附和扩散形成表面合金，以达到提高工件表面性能的目的。